产品应用 |
|
SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。 |
|
关于本产品的详细内容,请使用右上方的图标目录后确认。 |
测量晶片厚度 |
微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。 |
|
||||||||||||||||||
测量复印机中的辊的动作。 |
微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。 |
|
||||||||||||||||||
定位高精度载物台 |
微型传感头可用于检测载物台停止的位置,因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。 |
|
||||||||||||||||||
高精度测量辊的偏转。 |
微型传感头可用于测量各种要求测量的辊(例如胶辊)的偏转。 |
|
||||||||||||||||||
测量曝光掩模的间隙 |
微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。 |
|
||||||||||||||||||
测量玻璃盘的厚度 |
微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。 |
|